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直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
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| 我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。 |
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majieliefu
银虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
10楼2013-06-12 18:33:24