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直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
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| 我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。 |
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-05-13 21:38:05
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-06-08 10:37:25
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-05-13 21:38:05
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-06-08 10:37:25
| 首先，我之前做的直流磁控溅射做出来的薄膜质量也会比射频溅射的差很多，我不清楚这是我们设备的问题还是其他，不过理论上貌似射频做的会好一些。其次，楼主做的温度是多少的，如果是室温的话，这种情况还是有可能的，在一定的范围内，温度越高电学性能越好，而且透过率也会好些。第三，楼主膜厚也不算是太薄也不算是太厚，膜很薄的情况下电学性能恶化比较快。我认为可能还是楼主在溅射过程中的溅射工艺有不足的地方，目前做靶的应该做的还可以。另外，做个广告，我们组做AZO，从原料到靶材到薄膜一条龙。靶材是高性能靶材，经过专家认定的，如果想要的话可以联系。 |
7楼2013-05-13 11:13:03
codesertea
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2楼2013-05-09 10:30:21
3楼2013-05-10 13:29:05
codesertea
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4楼2013-05-10 15:11:49
