| 查看: 2762 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
|
|||
| 我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
基金啊基金
已经有3人回复
-
科研孤儿太难了
已经有15人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有10人回复
-
言之凿凿，明天官网会通知放榜？
已经有17人回复
-
时间戳又变了
已经有17人回复
-
今天系统多次维护，明天很可能放榜！
已经有11人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有23人回复
-
只有每年这种时候来逛逛小木虫
已经有22人回复
-
放榜前的不淡定
已经有12人回复
-
重要消息，中午系统在维护
已经有12人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求问AZO薄膜电阻率问题
已经有11人回复
- 开个帖子，关于CIGS太阳能电池的，有问必答，欢迎交流
已经有115人回复
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-05-13 21:38:05
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-06-08 10:37:25
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-05-13 21:38:05
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-06-08 10:37:25
| 首先，我之前做的直流磁控溅射做出来的薄膜质量也会比射频溅射的差很多，我不清楚这是我们设备的问题还是其他，不过理论上貌似射频做的会好一些。其次，楼主做的温度是多少的，如果是室温的话，这种情况还是有可能的，在一定的范围内，温度越高电学性能越好，而且透过率也会好些。第三，楼主膜厚也不算是太薄也不算是太厚，膜很薄的情况下电学性能恶化比较快。我认为可能还是楼主在溅射过程中的溅射工艺有不足的地方，目前做靶的应该做的还可以。另外，做个广告，我们组做AZO，从原料到靶材到薄膜一条龙。靶材是高性能靶材，经过专家认定的，如果想要的话可以联系。 |
7楼2013-05-13 11:13:03
codesertea
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1307.4
- 红花: 2
- 帖子: 74
- 在线: 636.8小时
- 虫号: 913888
- 注册: 2009-11-26
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2013-05-09 10:30:21
3楼2013-05-10 13:29:05
codesertea
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1307.4
- 红花: 2
- 帖子: 74
- 在线: 636.8小时
- 虫号: 913888
- 注册: 2009-11-26
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2013-05-10 15:11:49
40