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磁控溅射制备氮化铝薄膜 已有2人参与
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| 请问磁控溅射制备氮化铝薄膜的颜色是什么啊,磁控溅射制备氮化铝薄膜还有前途吗? |
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avgon
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avgon
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磁控溅射制备氮化铝薄膜,如果从长纳米结构来讲做不过化学气相沉积,如果从晶体质量来做不过MBE或MOCVD,PLD等方法,所以无论从新形貌还是从提高质量上都不占优势。相关机理已经非常成熟,想要弄得更细,除非有高端的后期样品的表征设备,如果基于此能给出更多样品细节,那么什么方法做出的样品都有可做的空间。因此对于传统的制备方法,想要做出新东西并不容易,电子器件也很少会用磁控溅射方法做。给你一篇文献你先了解下,看你能否分析得比这个更细致深入。 |
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本内容由用户自主发布,如果其内容涉及到知识产权问题,其责任在于用户本人,如对版权有异议,请联系邮箱:xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜.pdf
2014-03-05 17:46:47, 623.66 K
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4楼2014-03-05 17:47:33

5楼2014-03-06 09:40:28
wangshaobin
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