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铁虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射制备氮化铝薄膜已有2人参与

请问磁控溅射制备氮化铝薄膜的颜色是什么啊，磁控溅射制备氮化铝薄膜还有前途吗？

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耐心，恒心

1楼 2014-03-04 14:59:13

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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

氮化铝薄膜，以前用在太阳能真空管上，是单靶用AL靶，磁控溅射膜系，底层AL/AL-N-AL/...../ALN，有渐变膜和干涉膜，ALN做减反层，吸收层是ALN填充AL。目前太阳能真空管镀膜，基本都是三靶镀膜，三个靶，SS/AL/Cu，减反层还是ALN。纯的ALN是透明的。

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