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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 磁控溅射制备氮化铝薄膜
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861532525

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射制备氮化铝薄膜 已有2人参与

请问磁控溅射制备氮化铝薄膜的颜色是什么啊，磁控溅射制备氮化铝薄膜还有前途吗？
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耐心，恒心
1楼 2014-03-04 14:59:13
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avgon

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是透明的，但看起来会有彩色条纹，具体颜色取决于薄膜的厚度。磁控溅射制备氮化铝薄膜这个方向如果在有特殊需要的工厂也许还有用，因为是个比较成熟的方向，方法成熟，材料成熟，做研究发文章不太合适，很难出新东西。
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861532525
仰望星空脚踏实地
2楼2014-03-04 16:17:50
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861532525

铁虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by avgon at 2014-03-04 16:17:50
是透明的，但看起来会有彩色条纹，具体颜色取决于薄膜的厚度。磁控溅射制备氮化铝薄膜这个方向如果在有特殊需要的工厂也许还有用，因为是个比较成熟的方向，方法成熟，材料成熟，做研究发文章不太合适，很难出新东西 ...

非常感谢。如果我们的仪器是自己定制的，能做出点新东西吗？是否有磁控溅射制备氮化铝形成机理方面的文献，我想从理论上做些解释，非常感谢。
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耐心，恒心
3楼2014-03-05 15:26:25
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avgon

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 861532525 at 2014-03-05 15:26:25
非常感谢。如果我们的仪器是自己定制的，能做出点新东西吗？是否有磁控溅射制备氮化铝形成机理方面的文献，我想从理论上做些解释，非常感谢。...

磁控溅射制备氮化铝薄膜，如果从长纳米结构来讲做不过化学气相沉积，如果从晶体质量来做不过MBE或MOCVD,PLD等方法，所以无论从新形貌还是从提高质量上都不占优势。相关机理已经非常成熟，想要弄得更细，除非有高端的后期样品的表征设备，如果基于此能给出更多样品细节，那么什么方法做出的样品都有可做的空间。因此对于传统的制备方法，想要做出新东西并不容易，电子器件也很少会用磁控溅射方法做。给你一篇文献你先了解下，看你能否分析得比这个更细致深入。
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  • 附件 1 : 射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜.pdf
    • 2014-03-05 17:46:47, 623.66 K

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861532525
仰望星空脚踏实地
4楼2014-03-05 17:47:33
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861532525

铁虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by avgon at 2014-03-05 17:47:33
磁控溅射制备氮化铝薄膜，如果从长纳米结构来讲做不过化学气相沉积，如果从晶体质量来做不过MBE或MOCVD,PLD等方法，所以无论从新形貌还是从提高质量上都不占优势。相关机理已经非常成熟，想要弄得更细，除非有高端 ...

非常感谢您。
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耐心，恒心
5楼2014-03-06 09:40:28
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

氮化铝薄膜，以前用在太阳能真空管上，是单靶用AL靶，磁控溅射膜系，底层AL/AL-N-AL/...../ALN，有渐变膜和干涉膜，ALN做减反层，吸收层是ALN填充AL。目前太阳能真空管镀膜，基本都是三靶镀膜，三个靶，SS/AL/Cu，减反层还是ALN。纯的ALN是透明的。
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6楼2014-03-13 11:07:42
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861532525

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wangshaobin at 2014-03-13 11:07:42
氮化铝薄膜，以前用在太阳能真空管上，是单靶用AL靶，磁控溅射膜系，底层AL/AL-N-AL/...../ALN，有渐变膜和干涉膜，ALN做减反层，吸收层是ALN填充AL。目前太阳能真空管镀膜，基本都是三靶镀膜，三个靶，SS/AL/Cu，减 ...

谢谢。。。
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耐心，恒心
7楼2014-03-15 14:33:01
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liaofang20

银虫 (小有名气)
我也想试AlN膜做绝缘膜，但是要多厚才行。
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8楼2014-06-13 11:04:04
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