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chicktj

新虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜？已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗？有相关的文献吗？急求！

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1楼 2014-08-21 08:52:40

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hjhqq8768029

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by zxy19871129 at 2014-08-25 22:35:46
确实是不太好搞，我是做SiON薄膜

楼主能不能分享一下溅射SiON的基本经验啊，我想做，没人做过，不知道参数怎么设置..谢谢

8楼2015-01-15 20:55:40

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zjlenny

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【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊

2楼2014-08-25 13:45:52

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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-25 16:36:18

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于士辉

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, ★有帮助 2014-09-02 15:30:11

磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易，不好生长。

4楼2014-08-25 16:54:57

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