24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2829  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜? 已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗?有相关的文献吗?急求!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

半导体技术

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

于士辉

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:11
磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易,不好生长。
4楼2014-08-25 16:54:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊
2楼2014-08-25 13:45:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-25 16:36:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:16
确实是不太好搞,我是做SiON薄膜
5楼2014-08-25 22:35:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211,化学310分,本科重点双非,求调剂 +22 努力奋斗112 2026-04-08 22/1100 2026-04-10 22:49 by Ftglcn90
[考研] 283求调剂,工科! +10 苏打水7777 2026-04-08 10/500 2026-04-10 18:54 by chemisry
[考研] 0854求调剂 +5 assdll 2026-04-05 5/250 2026-04-10 15:32 by 高维春
[考研] 314求调剂 +23 wakeluofu 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 15:31 by MOF_Catal
[考研] 求调剂 +7 璃茉一定上岸 2026-04-10 7/350 2026-04-10 15:25 by jiajinhpu
[考研] 282,求调剂 +10 jggshjkkm 2026-04-09 12/600 2026-04-10 14:53 by 逆水乘风
[考研] 08600生物与医药-327 +10 18755400796 2026-04-05 10/500 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 求机械专硕297第二批调剂 +5 拾柒12。 2026-04-08 5/250 2026-04-09 16:43 by 允当适度
[考研] 一志愿郑州大学 22408 305分求调剂 +3 安小满zzz 2026-04-08 3/150 2026-04-09 16:16 by wp06
[考研] 308求调剂 +17 墨墨漠 2026-04-06 17/850 2026-04-09 09:25 by 壹往無前
[考研] 一志愿北京2,材料与化工308求调剂 +17 熊二想上岸 2026-04-04 18/900 2026-04-09 09:13 by leyan1127
[考研] 一志愿211,化学学硕,310分,本科重点双非,求调剂 +10 努力奋斗112 2026-04-07 10/500 2026-04-08 15:01 by screening
[考研] 求调剂 +9 月@163.com 2026-04-07 11/550 2026-04-08 14:48 by qlm5820
[考研] 281求调剂 +10 椰子蘑菇 2026-04-06 10/500 2026-04-08 11:43 by zzucheup
[考研] 277求调剂 +4 考研调剂lxh 2026-04-06 6/300 2026-04-08 10:40 by 逆水乘风
[考研] 求调剂 +28 111623 2026-04-04 33/1650 2026-04-08 09:24 by 泽润东方
[考研] 085404 293求调剂 +8 勇远库爱314 2026-04-06 9/450 2026-04-07 13:05 by flydream1314
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358求调剂 +10 cs0106 2026-04-05 12/600 2026-04-06 19:41 by 无际的草原
[考研] 专硕304找调剂,一线城市最好 +3 李lsl李 2026-04-05 3/150 2026-04-06 12:16 by ffffjjjj
[考研] 326求调剂 +3 顾若浮生 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:32 by 蓝云思雨
信息提示
请填处理意见