24小时热门版块排行榜    

查看: 1315  |  回复: 3

可_柯木

银虫 (初入文坛)

[交流] 关于磁控溅射制备In2O3薄膜颜色的问题

以下是我的工艺参数,请各位学者帮我分析一下薄膜颜色的问题。
本底真空6*10-4Pa以下,RF100w,Ar/N2流量比=4/1,气压电阻规1Pa,溅射时间2h,靶基距7cm,基片温度室温,开启自转,我做出来膜厚大概5μm,氧化铟薄膜应该是淡黄色的,我做出来是黑色的,请问怎么回事?我1000度大气退火后颜色变回淡黄色,有缺氧的原因,请问还有什么可能导致薄膜是黑色的以及你们做出来的是什么颜色?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:39
XRD什么都正常吗?或许你稍微通O2就解决了
2楼2015-03-12 12:11:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

winterfell

银虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:16
用氮气的原因吧,不同氧气、氮气量溅射出来的膜颜色不一样的
Nobody knows the trouble I've seen, nobody know my sorrow.
3楼2015-03-13 17:07:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

博士第一峰

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:46
用的什么靶材,溅射出来的可能主要是金属单质,呈现黑色,查一下相关磁控溅射条件,是否应该在溅射过程中要打开氧气阀门?
义-勤-志-诚
4楼2015-03-14 20:58:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 可_柯木 的主题更新
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6PrO1XyZ5URF 2026-11-13 3/150 2026-11-15 16:12 by 0aDbZAghdVq9
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 TZqyNTBa07NP 2026-11-13 3/150 2026-11-15 14:22 by 0aDbZAghdVq9
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 TZqyNTBa07NP 2026-11-13 3/150 2026-11-15 09:24 by xSrQNSSjcgoX
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 SX5mJmPWDfOO 2026-11-13 3/150 2026-11-15 07:56 by xSrQNSSjcgoX
[硕博家园] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 XJXMuRjD7cK7 2026-11-13 4/200 2026-11-15 06:50 by xSrQNSSjcgoX
[考博] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 uKOSCocCb6Fm 2026-11-12 7/350 2026-11-15 03:32 by xSrQNSSjcgoX
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 8/400 2026-11-14 22:51 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 7/350 2026-11-14 21:58 by Equinoxhua
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 gRND4NVAZ8VG 2026-11-11 5/250 2026-11-13 11:15 by Equinoxhua
[基金申请] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +6 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 7/350 2026-11-13 10:55 by Equinoxhua
[教师之家] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 6/300 2026-11-13 04:21 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 4/200 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 5/250 2026-11-12 11:14 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 czAiolzR0IJC 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:11 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 czAiolzR0IJC 2026-11-10 6/300 2026-11-12 11:03 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:30 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +6 FChKX8meu1ds 2026-11-09 11/550 2026-11-12 09:57 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 08:15 by HajghKOMynmz
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 4/200 2026-11-12 02:23 by 9fOTqj074tIg
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 7/350 2026-11-12 00:44 by 9fOTqj074tIg
信息提示
请填处理意见