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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于磁控溅射制备In2O3薄膜颜色的问题
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可_柯木

银虫 (初入文坛)

[交流] 关于磁控溅射制备In2O3薄膜颜色的问题

以下是我的工艺参数，请各位学者帮我分析一下薄膜颜色的问题。
本底真空6*10-4Pa以下，RF100w，Ar/N2流量比=4/1，气压电阻规1Pa，溅射时间2h，靶基距7cm，基片温度室温，开启自转，我做出来膜厚大概5μm，氧化铟薄膜应该是淡黄色的，我做出来是黑色的，请问怎么回事?我1000度大气退火后颜色变回淡黄色，有缺氧的原因，请问还有什么可能导致薄膜是黑色的以及你们做出来的是什么颜色？
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1楼 2015-03-11 16:23:41
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博士第一峰

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:46
用的什么靶材，溅射出来的可能主要是金属单质，呈现黑色，查一下相关磁控溅射条件，是否应该在溅射过程中要打开氧气阀门？
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义-勤-志-诚
4楼2015-03-14 20:58:31
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:39
XRD什么都正常吗？或许你稍微通O2就解决了
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2楼2015-03-12 12:11:48
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winterfell

银虫 (初入文坛)
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可_柯木: 金币+10 2015-03-23 16:29:16
用氮气的原因吧，不同氧气、氮气量溅射出来的膜颜色不一样的
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Nobody knows the trouble I've seen, nobody know my sorrow.
3楼2015-03-13 17:07:05
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