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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜 已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
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薄膜制备与特性

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有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2015-09-14 15:10:42
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
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10楼2015-09-17 15:27:16
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普通回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
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2楼2015-09-14 21:19:08
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
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有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
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4楼2015-09-15 22:02:34
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yncnxsy

金虫 (小有名气)
你是物理系吧？

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天行健，君子以自强不息
5楼2015-09-15 22:55:45
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-15 22:02:34
您是北京科技大的，我们前一段时间刚给北科大做了一批钽薄膜，现在正在给他们做退火处理。后期需要做薄膜的话可以和我联系...

谢谢您
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有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2015-09-16 15:53:40
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yncnxsy at 2015-09-15 22:55:45
你是物理系吧？

不是，我是材料的。
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有今生 有来生 有因果 有轮回
7楼2015-09-16 15:53:49
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:51
要有晶向的，还是得用外延生长吧，MOCVD或分子束外延吧
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8楼2015-09-16 18:48:55
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:39
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧
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9楼2015-09-17 10:34:07
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