应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
281/3返回列表123下一页
查看: 2873  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜 已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2015-09-14 15:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
10楼2015-09-17 15:27:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-09-14 21:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-09-15 22:02:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yncnxsy

金虫 (小有名气)
你是物理系吧？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
天行健，君子以自强不息
5楼2015-09-15 22:55:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-15 22:02:34
您是北京科技大的，我们前一段时间刚给北科大做了一批钽薄膜，现在正在给他们做退火处理。后期需要做薄膜的话可以和我联系...

谢谢您
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2015-09-16 15:53:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yncnxsy at 2015-09-15 22:55:45
你是物理系吧？

不是，我是材料的。
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
7楼2015-09-16 15:53:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:51
要有晶向的，还是得用外延生长吧，MOCVD或分子束外延吧
赞一下 回复此楼
8楼2015-09-16 18:48:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuzhen

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:39
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧
赞一下 回复此楼
9楼2015-09-17 10:34:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 净慧婍兴 的主题更新
281/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕326求调剂 +5 墨煜姒莘 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:30 by 木瓜膏
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 283求调剂 +10 小楼。 2026-03-12 14/700 2026-03-16 16:08 by 13811244083
[考博] 欢迎申博同学联系 +3 天道酬勤2026686 2026-03-10 7/350 2026-03-15 19:03 by 天道酬勤2026686
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +5 wowsunflower 2026-03-10 7/350 2026-03-14 17:21 by kingkocxr
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 云南财经大学信息学院计算机学硕专硕学位点 +3 zjptai 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:23 by 飞行琦
[考研] 311求调剂 +8 zchqwer 2026-03-10 8/400 2026-03-14 00:01 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 Mochaaaa 2026-03-12 7/350 2026-03-13 22:18 by 星空星月
[考研] 工科，求调剂 +3 我887 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:39 by JourneyLucky
[考研] （081700）化学工程与技术-298分求调剂 +12 11啦啦啦 2026-03-11 35/1750 2026-03-13 21:25 by JourneyLucky
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[考研] 298求调剂 +3 Vv呀！ 2026-03-10 3/150 2026-03-10 22:40 by 剑诗杜康
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭