应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
51/1返回列表
查看: 2878  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜 已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2015-09-14 15:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-09-15 22:02:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-09-14 21:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yncnxsy

金虫 (小有名气)
你是物理系吧？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
天行健，君子以自强不息
5楼2015-09-15 22:55:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 293求调剂 +6 zjl的号 2026-03-16 11/550 2026-03-17 14:27 by houyaoxu
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考研] 285化工学硕求调剂（081700） +9 柴郡猫_ 2026-03-12 9/450 2026-03-17 10:18 by Sammy2
[考研] 302求调剂 +8 负心者当诛 2026-03-11 8/400 2026-03-17 09:05 by 哦哦123
[考研] 0703化学336分求调剂 +3 zbzihdhd 2026-03-15 4/200 2026-03-16 23:52 by zbzihdhd
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 材料专硕326求调剂 +5 墨煜姒莘 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:30 by 木瓜膏
[考研] 326求调剂 +4 诺贝尔化学奖觊� 2026-03-15 7/350 2026-03-16 17:11 by 诺贝尔化学奖觊�
[考研] 283求调剂 +10 小楼。 2026-03-12 14/700 2026-03-16 16:08 by 13811244083
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +8 秋有木北 2026-03-14 8/400 2026-03-16 15:21 by 哦哦123
[考研] 344求调剂 +3 knight344 2026-03-16 3/150 2026-03-16 09:42 by 无际的草原
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 304求调剂 +6 Mochaaaa 2026-03-12 7/350 2026-03-13 22:18 by 星空星月
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考博] 福州大学杨黄浩课题组招收2026年专业学位博士研究生，2026.03.20截止 +3 Xiangyu_ou 2026-03-12 3/150 2026-03-13 09:36 by duanwu655
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[基金申请] 提交后的基金本子，已让学校撤回了，可否换口子提交 +3 dut_pfx 2026-03-10 3/150 2026-03-11 08:38 by kudofaye
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭