应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
281/3返回列表123下一页
查看: 2894  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜 已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2015-09-14 15:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
10楼2015-09-17 15:27:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-09-14 21:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-09-15 22:02:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yncnxsy

金虫 (小有名气)
你是物理系吧？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
天行健，君子以自强不息
5楼2015-09-15 22:55:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-15 22:02:34
您是北京科技大的，我们前一段时间刚给北科大做了一批钽薄膜，现在正在给他们做退火处理。后期需要做薄膜的话可以和我联系...

谢谢您
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2015-09-16 15:53:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yncnxsy at 2015-09-15 22:55:45
你是物理系吧？

不是，我是材料的。
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
7楼2015-09-16 15:53:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:51
要有晶向的，还是得用外延生长吧，MOCVD或分子束外延吧
赞一下 回复此楼
8楼2015-09-16 18:48:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuzhen

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
净慧婍兴: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-09-23 10:19:39
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧
赞一下 回复此楼
9楼2015-09-17 10:34:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 净慧婍兴 的主题更新
281/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 10/500 2026-03-19 16:05 by 余麟余
[考研] 271材料工程求调剂 +6 .6lL 2026-03-18 6/300 2026-03-19 15:41 by haoshis
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +4 Doleres 2026-03-19 4/200 2026-03-19 15:27 by 丁丁*
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +10 慕寒mio 2026-03-16 10/500 2026-03-19 15:26 by 丁丁*
[考研] 287求调剂 +3 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-19 12:32 by peike
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +7 小材化本科 2026-03-18 7/350 2026-03-19 10:46 by Linda Hu
[考研] 0703化学调剂 +8 妮妮ninicgb 2026-03-15 12/600 2026-03-19 05:55 by anny19840123
[考研] 085601专硕，总分342求调剂，地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 0703化学求调剂 总分331 +3 ZY-05 2026-03-13 3/150 2026-03-18 10:58 by macy2011
[考研] 环境工程调剂 +8 大可digkids 2026-03-16 8/400 2026-03-18 09:36 by zhukairuo
[考研] 265求调剂 +3 梁梁校校 2026-03-17 3/150 2026-03-18 09:12 by zhukairuo
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 302求调剂 +4 小贾同学123 2026-03-15 8/400 2026-03-17 10:33 by 小贾同学123
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:30 by 求调剂zz
[考研] 321求调剂（食品/专硕） +3 mxcz321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭