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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by fuyadong01 at 2015-09-17 15:27:16
楼主问一下，AlN的耐酸碱性能怎么样？求解

AlN是陶瓷，应该耐酸碱都不错吧。我没测试过。看看有没有文献。
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11楼2015-09-23 10:20:53
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jilv0724

新虫 (小有名气)
可以尝试一下用高功率脉冲磁控溅射，溅射出来的离子能量更高，就可以得到具有（002）择优取向的AlN
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12楼2015-09-28 21:22:52
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by jilv0724 at 2015-09-28 21:22:52
可以尝试一下用高功率脉冲磁控溅射，溅射出来的离子能量更高，就可以得到具有（002）择优取向的AlN

没有设备啊。谢谢啦。的确高能量的容易一点。
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13楼2015-10-08 09:41:50
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zhuzhen at 2015-09-17 10:34:07
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧

111的也不行，我在想是不是硅片的问题。002峰不是很高。
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14楼2015-10-08 09:42:33
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发呆酱

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主好 我最近也打算做用于压电的（002）取向 AlN 薄膜
请问能分享一下您目前的经验吗
另外对于衬底的选择 除了硅  合金（比如不锈钢等）能否用于制作AlN薄膜
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15楼2015-11-30 17:46:57
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 发呆酱 at 2015-11-30 17:46:57
楼主好 我最近也打算做用于压电的（002）取向 AlN 薄膜
请问能分享一下您目前的经验吗
另外对于衬底的选择 除了硅  合金（比如不锈钢等）能否用于制作AlN薄膜

我目前只做出 100和111 还有 311的 AlN。
002的出不来。
不锈钢有人做过，不是很清楚。您可以查阅相关的文献。
我觉得楼上几位说的对，002需要高能量啊。
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16楼2015-12-01 07:59:38
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love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)
磁控溅射不行，做不出单晶的。

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17楼2016-01-15 23:13:37
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tong414

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2015-09-15 07:56:36
我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎...

我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸
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18楼2016-03-22 14:59:45
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by tong414 at 2016-03-22 14:59:45
我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸...

其实我也是，总是报警。射频可能好一点。
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19楼2016-03-23 07:31:07
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

【答案】应助回帖

你好，我公司可以用磁控溅射做002取向的氮化铝，在硅片和不锈钢片上面都可以做，有需要联系
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20楼2016-04-06 13:46:22
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