【答案】应助回帖

有今生有来生有因果有轮回

11楼2015-09-23 10:20:53

jilv0724

新虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 197.3
帖子: 54
在线: 26.7小时
虫号: 3814486
注册: 2015-04-16
专业: 金属材料表面科学与工程

可以尝试一下用高功率脉冲磁控溅射，溅射出来的离子能量更高，就可以得到具有（002）择优取向的AlN

12楼2015-09-28 21:22:52

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 5535.9
散金: 15
红花: 2
帖子: 83
在线: 26.8小时
虫号: 2605864
注册: 2013-08-19
性别: GG
专业: 金属功能材料

引用回帖:

12楼: Originally posted by jilv0724 at 2015-09-28 21:22:52
可以尝试一下用高功率脉冲磁控溅射，溅射出来的离子能量更高，就可以得到具有（002）择优取向的AlN

没有设备啊。谢谢啦。的确高能量的容易一点。

有今生有来生有因果有轮回

13楼2015-10-08 09:41:50

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 5535.9
散金: 15
红花: 2
帖子: 83
在线: 26.8小时
虫号: 2605864
注册: 2013-08-19
性别: GG
专业: 金属功能材料

引用回帖:

9楼: Originally posted by zhuzhen at 2015-09-17 10:34:07
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧

111的也不行，我在想是不是硅片的问题。002峰不是很高。

有今生有来生有因果有轮回

14楼2015-10-08 09:42:33

发呆酱

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2
帖子: 22
在线: 7.3小时
虫号: 3758339
注册: 2015-03-23
专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

楼主好我最近也打算做用于压电的（002）取向 AlN 薄膜
请问能分享一下您目前的经验吗
另外对于衬底的选择除了硅合金（比如不锈钢等）能否用于制作AlN薄膜

15楼2015-11-30 17:46:57

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 5535.9
散金: 15
红花: 2
帖子: 83
在线: 26.8小时
虫号: 2605864
注册: 2013-08-19
性别: GG
专业: 金属功能材料

引用回帖:

15楼: Originally posted by 发呆酱 at 2015-11-30 17:46:57
楼主好我最近也打算做用于压电的（002）取向 AlN 薄膜
请问能分享一下您目前的经验吗
另外对于衬底的选择除了硅合金（比如不锈钢等）能否用于制作AlN薄膜

我目前只做出 100和111 还有 311的 AlN。
002的出不来。
不锈钢有人做过，不是很清楚。您可以查阅相关的文献。
我觉得楼上几位说的对，002需要高能量啊。

有今生有来生有因果有轮回

16楼2015-12-01 07:59:38

love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 809.5
帖子: 7
在线: 24.9小时
虫号: 2379617
注册: 2013-03-26
专业: 光学

磁控溅射不行，做不出单晶的。

发自小木虫Android客户端

17楼2016-01-15 23:13:37

tong414

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
帖子: 1
在线: 3.1小时
虫号: 2569611
注册: 2013-07-28

引用回帖:

3楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2015-09-15 07:56:36
我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎...

我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸

18楼2016-03-22 14:59:45

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 5535.9
散金: 15
红花: 2
帖子: 83
在线: 26.8小时
虫号: 2605864
注册: 2013-08-19
性别: GG
专业: 金属功能材料

引用回帖:

18楼: Originally posted by tong414 at 2016-03-22 14:59:45
我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸...

其实我也是，总是报警。射频可能好一点。

有今生有来生有因果有轮回

19楼2016-03-23 07:31:07

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

应助: 14 (小学生)
金币: 230.6
散金: 100
红花: 5
帖子: 169
在线: 151.9小时
虫号: 136390
注册: 2005-12-16
性别: GG
专业: 信息理论与信息系统

【答案】应助回帖

你好，我公司可以用磁控溅射做002取向的氮化铝，在硅片和不锈钢片上面都可以做，有需要联系

20楼2016-04-06 13:46:22