应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
121/2返回列表12下一页
查看: 2660  |  回复: 27
查看全部回帖@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼2015-09-14 15:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-15 22:02:34
您是北京科技大的，我们前一段时间刚给北科大做了一批钽薄膜，现在正在给他们做退火处理。后期需要做薄膜的话可以和我联系...

谢谢您
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2015-09-16 15:53:40
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yncnxsy at 2015-09-15 22:55:45
你是物理系吧？

不是，我是材料的。
回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
7楼2015-09-16 15:53:49
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by fuyadong01 at 2015-09-17 15:27:16
楼主问一下，AlN的耐酸碱性能怎么样？求解

AlN是陶瓷，应该耐酸碱都不错吧。我没测试过。看看有没有文献。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
11楼2015-09-23 10:20:53
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by jilv0724 at 2015-09-28 21:22:52
可以尝试一下用高功率脉冲磁控溅射，溅射出来的离子能量更高，就可以得到具有（002）择优取向的AlN

没有设备啊。谢谢啦。的确高能量的容易一点。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
13楼2015-10-08 09:41:50
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zhuzhen at 2015-09-17 10:34:07
试试Si（111），同AlN（002）的原子密堆积一致吧

111的也不行，我在想是不是硅片的问题。002峰不是很高。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
14楼2015-10-08 09:42:33
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 发呆酱 at 2015-11-30 17:46:57
楼主好 我最近也打算做用于压电的（002）取向 AlN 薄膜
请问能分享一下您目前的经验吗
另外对于衬底的选择 除了硅  合金（比如不锈钢等）能否用于制作AlN薄膜

我目前只做出 100和111 还有 311的 AlN。
002的出不来。
不锈钢有人做过，不是很清楚。您可以查阅相关的文献。
我觉得楼上几位说的对，002需要高能量啊。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
16楼2015-12-01 07:59:38
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by tong414 at 2016-03-22 14:59:45
我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸...

其实我也是，总是报警。射频可能好一点。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
19楼2016-03-23 07:31:07
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by 13794845196 at 2016-04-06 16:34:52
哎哟……我也是做材料的

好巧，好巧。我也是。多交流哈。
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
23楼2016-05-30 07:43:45
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 净慧婍兴 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭