应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于AlN薄膜
52/1返回列表
查看: 2705  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助关于AlN薄膜 已有4人参与

因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。
采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。
按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。

求各位大神指教啊。小弟着急。
回复此楼

» 猜你喜欢
有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2015-09-14 15:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tong414

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2015-09-15 07:56:36
我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎...

我做直流反应溅射，太费劲了，仪器老跳闸
赞一下 回复此楼
18楼2016-03-22 14:59:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-09-14 21:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-09-14 21:19:08
这个得慢慢调试做实验才能得到，您是哪个高校的

我是北科大的。谢谢您啦。做了很久，还是没有结果。很是着急。哎
赞一下 回复此楼
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2015-09-15 07:56:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-09-15 22:02:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭