| 查看: 2723 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
净慧婍兴铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
求助关于AlN薄膜 已有4人参与
|
||
|
因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。 采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。 按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟着急。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有21人回复
-
不自信的我
已经有5人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有4人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- AlN薄膜纳米力学性能文章投稿求助
已经有0人回复
15楼2015-11-30 17:46:57