| 查看: 2897 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
净慧婍兴铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
求助关于AlN薄膜 已有4人参与
|
||
|
因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。 采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。 按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟着急。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
0856调剂，是学校就去
已经有7人回复
-
0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章
已经有14人回复
-
申博26年
已经有3人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有10人回复
-
0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历
已经有12人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有13人回复
-
288求调剂
已经有14人回复
-
307求调剂
已经有8人回复
-
一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂
已经有5人回复
-
288求调剂，一志愿华南理工大学071005
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- AlN薄膜纳米力学性能文章投稿求助
已经有0人回复
8楼2015-09-16 18:48:55
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2015-09-14 21:19:08
净慧婍兴
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 5535.9
- 散金: 15
- 红花: 2
- 帖子: 83
- 在线: 26.8小时
- 虫号: 2605864
- 注册: 2013-08-19
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
3楼2015-09-15 07:56:36
wanghuaxing
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2015-09-15 22:02:34
