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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于磁控溅射参数
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
功率

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11楼2016-02-24 06:25:12
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 草也花开 at 2016-02-20 22:43:18
分子泵抽真空比较重要，这个需要进口的！关于电源，用哪个比较重要就进口哪个吧！我们老师刚买一个射频电源，国产的，买来就有问题！

我们家的电源还可以，美国CERES，需要的话，可以联系我
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QQ：1723046531
12楼2017-03-22 13:41:19
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yanghuan5538

金虫 (小有名气)
40万好便宜的说啊。。射频还是买好点的好，偏压的话看你做什么膜了，要是要求比较高，还是进口的好，像AE或者霍丁格等，我们开发是用国产的做出来就是不行。泵体就看你要的极限真空和CT了。其它无所谓啦。

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13楼2017-03-22 23:12:25
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songfeng2566

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by sunwinner at 2016-02-22 09:03:10
电源太关键了，必须要进口的，特别是RF。要降成本其它随意。

你好，我想请问下，磁控溅射一次溅射多长时间？学长们说的是半小时以内，停下间隔十分钟，可是那样很费时间的。
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14楼2017-03-23 09:49:14
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songfeng2566

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pengjinqiang at 2016-02-19 10:13:10
制造真空度控制没问题，以前用的时候基本没有出问题。就是装卸样品麻烦，不知道你这个设备怎么样？

你好，请问下磁控溅射一次的时间有什么限制吗？
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15楼2017-03-23 09:50:08
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anythingforu

新虫 (小有名气)
楼主想请教一下，这个设备有没有给基底的加热装置？ 射频电极在哪个位置?
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从不回头的人.
16楼2017-08-16 09:20:09
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