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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

11楼2016-02-24 06:25:12
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 草也花开 at 2016-02-20 22:43:18
分子泵抽真空比较重要,这个需要进口的!关于电源,用哪个比较重要就进口哪个吧!我们老师刚买一个射频电源,国产的,买来就有问题!

我们家的电源还可以,美国CERES,需要的话,可以联系我
QQ:1723046531
12楼2017-03-22 13:41:19
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yanghuan5538

金虫 (小有名气)

40万好便宜的说啊。。射频还是买好点的好,偏压的话看你做什么膜了,要是要求比较高,还是进口的好,像AE或者霍丁格等,我们开发是用国产的做出来就是不行。泵体就看你要的极限真空和CT了。其它无所谓啦。

发自小木虫Android客户端
13楼2017-03-22 23:12:25
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songfeng2566

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by sunwinner at 2016-02-22 09:03:10
电源太关键了,必须要进口的,特别是RF。要降成本其它随意。

你好,我想请问下,磁控溅射一次溅射多长时间?学长们说的是半小时以内,停下间隔十分钟,可是那样很费时间的。
14楼2017-03-23 09:49:14
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songfeng2566

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pengjinqiang at 2016-02-19 10:13:10
制造真空度控制没问题,以前用的时候基本没有出问题。就是装卸样品麻烦,不知道你这个设备怎么样?

你好,请问下磁控溅射一次的时间有什么限制吗?
15楼2017-03-23 09:50:08
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anythingforu

新虫 (小有名气)

楼主想请教一下,这个设备有没有给基底的加热装置? 射频电极在哪个位置?
从不回头的人.
16楼2017-08-16 09:20:09
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