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关于磁控溅射沉积FeMn薄膜参数设置的问题
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| 新拿到一个研究方向，需要用磁控溅射沉积FeMn薄膜，对具体工艺参数不太清楚，各位能否给我一下具体的参数，包括溅射功率，沉积速率，Ar流量等，不甚感激！ |
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