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超级液晶

新虫 (初入文坛)

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专业: 等离子体物理

[交流] 磁控溅射分为哪几种电源？是不是电源电离惰性气体产生等离子的？

在TFT生产过程中用到很多溅射技术，请问溅射分为几种电源，我记得不是只有直流电源和射频电源吗？为什么很多人说还有中频，脉冲电源这些，请问于前两个有什么区别吗？还有是不是就是这个电源电离惰性气体来产生等离子体然后轰击靶材的？刚刚进这行业不懂求大神解！万分感谢！

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1楼 2015-10-06 15:43:12

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