应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
21/1返回列表
查看: 3602  |  回复: 20
查看全部回帖 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mengbin

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）

各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-11-08 22:25:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daling8210

铁虫 (正式写手)
不知道啊，你用直流靶引一下试试？
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2012-11-08 23:27:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mengbin 的主题更新
21/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭