| 查看: 2048 | 回复: 0 | |||||
[交流]
磁控溅射靶材中毒的原因
|
|
靶材中毒主要原因是介质合成速度大于溅射产额(氧化反应气体通入太多)，造成导体靶材丧失导电能力，只有提高击穿电压，才能起辉，电压过高容易发生弧光放电。现象：靶电压长时间不能达到正常，溅射靶材一直处于低电压运行状态，并伴有弧光放电;靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。 若要彻底杜绝靶中毒，必须用中频电源或射频电源代替直流电源;减少反应气体的通入量、提高溅射功率，清理靶材上的污染物(特别是油污)、选用真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶中毒现象的发生。靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍，只要磁场强度足够，冷却效果良好，对靶材影响不大 污渍影响不大~打火是有绝缘部位造成的，一般是局部中毒或者赃物。东莞溅射靶材靶材中毒是因为功率密度太低，相对于过量的反应气体不能及时蒸发掉(或溅射)，会残留靶材表面，造成导电性能下降，从而进入中毒状态。轻者无法起辉光，重者报废电源。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | Target and film |
» 猜你喜欢
求助磷酸铁锂cif#81-1173
已经有0人回复
-
论文投稿期刊
已经有4人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有117人回复
-
26/27申博
已经有2人回复
-
TiNb合金抛光-电解抛光
已经有1人回复
-
27 博士申请
已经有25人回复
-
7075材料过滤难
已经有0人回复
-
Data征稿（EI检索收录），选题方向：环境风险管理的数据分析
已经有104人回复
-
达姆施塔特市中心好房出租
已经有52人回复
找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- MgF2,LiF做磁控溅射用靶材是否有毒
已经有5人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响
已经有7人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
- 【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站
已经有6人回复
点击这里搜索更多相关资源科研从小木虫开始，人人为我，我为人人
20