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risktaker111金虫 (正式写手)
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磁控溅射匹配器没有反应???
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| 用磁控溅射镀膜时,板流板压有显示,表示射频电源没有问题!刚通入射频电源时,匹配器上的正反向功率有显示,但是稍过一会就变0了,以后就是怎么调C1和C2钮没有任何反应,什么原因呢,请大家多多指教,急呀! |
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