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risktaker111

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射匹配器没有反应???

用磁控溅射镀膜时，板流板压有显示，表示射频电源没有问题！刚通入射频电源时，匹配器上的正反向功率有显示，但是稍过一会就变0了，以后就是怎么调C1和C2钮没有任何反应，什么原因呢，请大家多多指教，急呀！
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1楼 2012-06-13 21:13:04
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1、可能是射频电源故障，射频电源错误保护。
2、可能是国产手动匹配器的匹配角窄，进入非匹配区不能复位。
3、很大可能更换射频电源或匹配器就可以了，你去申请SMITH射频电源试用，他们是自动匹配，我们原来申请是免费的，可以联系溢达兴公司。
4、您把电源型号发到我邮箱我给您回复。max4012@aliyun.com
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2楼2013-09-25 17:50:57
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