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hanxiao242银虫 (正式写手)
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磁控溅射电机过载，电源打不开了
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| 抽了真空后，打开电源，起辉后感觉颜色不对，之后一看压强居然突然升到了1.2*10E2帕，而且分子泵的阀门居然自己关掉了，之后就是系统报警：电机过载。我把射频电源关了，主电源自动关了，之后就再也打不开，这是什么情况啊？电源烧坏了吗？我用的功率不大啊，而且一直这样做都没问题。 |
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hanxiao242
银虫 (正式写手)
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