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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射电机过载，电源打不开了
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hanxiao242

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射电机过载，电源打不开了

抽了真空后，打开电源，起辉后感觉颜色不对，之后一看压强居然突然升到了1.2*10E2帕，而且分子泵的阀门居然自己关掉了，之后就是系统报警：电机过载。我把射频电源关了，主电源自动关了，之后就再也打不开，这是什么情况啊？电源烧坏了吗？我用的功率不大啊，而且一直这样做都没问题。
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1楼 2012-03-21 21:02:11
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
怎么解决的，愿闻其详！
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3楼2012-03-21 22:44:51
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hanxiao242

银虫 (正式写手)
问题解决了，谢谢！
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2楼2012-03-21 21:25:34
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