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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】磁控溅射电源的接法
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zgyuan0131

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射电源的接法

哪位大虾可以告诉我，磁控溅射仪上对靶的射频溅射电源怎么接？ 是不是两个对靶一个接输出的正极一个接输出的负极？
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1楼 2010-09-19 16:25:26
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