| 查看: 4507 | 回复: 2 | |||
[交流]
溅射靶材磁控溅射靶材中毒的原因 已有2人参与
|
|
靶材中毒主要原因是介质合成速度大于溅射产额(氧化反应气体通入太多)，造成导体靶材丧失导电能力，只有提高击穿电压，才能起辉，电压过高容易发生弧光放电。现象：靶电压长时间不能达到正常，溅射靶材一直处于低电压运行状态，并伴有弧光放电;靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。 若要彻底杜绝靶中毒，必须用中频电源或射频电源代替直流电源;减少反应气体的通入量、提高溅射功率，清理靶材上的污染物(特别是油污)、选用真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶中毒现象的发生。靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍，只要磁场强度足够，冷却效果良好，对靶材影响不大 污渍影响不大~打火是有绝缘部位造成的，一般是局部中毒或者赃物。东莞溅射靶材靶材中毒是因为功率密度太低，相对于过量的反应气体不能及时蒸发掉(或溅射)，会残留靶材表面，造成导电性能下降，从而进入中毒状态。轻者无法起辉光，重者报废电源。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂，一志愿厦门大学，生物与医药，总分272，本科211
已经有4人回复
-
材料调剂
已经有5人回复
-
一志愿 江南大学 085602 化工专硕 338分求调剂
已经有9人回复
-
0854电子信息319求调剂（接受跨专业调剂）
已经有3人回复
-
找调剂
已经有8人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
生物与医药273求调剂
已经有4人回复
-
327求调剂
已经有4人回复
-
材料调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
已经有14人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 关于溅射镀膜的温度
已经有8人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146220
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.3小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2013-08-23 07:10:19
qw905
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 38 (小学生)
- 金币: 22794.7
- 红花: 11
- 帖子: 1388
- 在线: 3730.5小时
- 虫号: 1142082
- 注册: 2010-11-09
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
| ITO靶材结瘤（中毒）的机理。供参考！ |
» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : ITO靶材结瘤.doc
- 附件 2 : ITO靶材结瘤.swf
2013-08-23 08:27:02, 30 K
2013-08-23 08:27:16, 21.21 K
3楼2013-08-23 08:28:06
