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138dong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你可以把功率源和匹配器从仪器上取下来,把它们两个单独连接,并通电,通电之前把匹配器上盖打开。通电后,用灯管(实验室平时照明用的即可)放在匹配器内的螺旋线圈上方,若灯管发亮,则射频设备没有问题,问题应该出现在射频反馈和腔室气压,这两个需慢慢调试匹配
书上有路勤为径
11楼2013-06-24 16:58:55
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zcq4891

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们用的一样的设备,也遇到你一样的问题,后来发现射频电源有一个起辉气压,要把气压调高一些起辉后在调节气压。
我也向你请教一个问题:你在做实验时有没有发现射频电源不稳定,总是一两分钟就匹配一下,在溅射陶瓷靶低气压下尤其明显,金属靶还没有遇到这个问题
12楼2013-07-01 10:23:39
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH(SMITH)射频电源替换测试,他们的是自动匹配,一换上就好了。
     手动调节需要耐心慢慢调。
13楼2013-09-27 09:54:51
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hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

匹配器问题,换过靶材一般都需要调匹配器。。
Stayhungry,stayfoolish.
14楼2013-11-13 20:44:43
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匹配器呢

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-21 10:33:37
应该是你的功率匹配没调好吧  我们实验室也是沈科仪的设备,功率匹配是要手动调的,换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉

您好,请问你学校是哪里的?我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复
没有多少青春可以挥霍了!!
15楼2013-12-03 15:49:55
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scienceand

新虫 (初入文坛)


同意七楼的观点,有可能是射频的天线有问题导致能量传不过来。
16楼2014-08-25 17:34:44
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antorr

新虫 (初入文坛)

我是北京的射频厂家,此设备最后发现是匹配器到负载的射频电缆接触不良(老化),造成不能起辉。
17楼2014-11-25 08:32:12
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

若没有起辉可尝试增大压强,打开靶挡板看到辉光后再调节功率匹配器,匹配器的指针在一格之内
18楼2014-12-25 16:19:43
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

我们组也用的这台设备,可是镀出来的金属膜氧含量特别高,基本都是30%左右,想请问各位有没有遇见过这种情况啊?这个问题困扰我们很久了,各种气路都检修了,还是不行呢
19楼2014-12-26 20:26:32
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小哥华少D

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by 匹配器呢 at 2013-12-03 15:49:55
您好,请问你学校是哪里的?我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复...

求交流,164979713
20楼2015-03-28 10:50:17
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