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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
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138dong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你可以把功率源和匹配器从仪器上取下来，把它们两个单独连接，并通电，通电之前把匹配器上盖打开。通电后，用灯管（实验室平时照明用的即可）放在匹配器内的螺旋线圈上方，若灯管发亮，则射频设备没有问题，问题应该出现在射频反馈和腔室气压，这两个需慢慢调试匹配
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书上有路勤为径
11楼2013-06-24 16:58:55
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zcq4891

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们用的一样的设备，也遇到你一样的问题，后来发现射频电源有一个起辉气压，要把气压调高一些起辉后在调节气压。
我也向你请教一个问题：你在做实验时有没有发现射频电源不稳定，总是一两分钟就匹配一下，在溅射陶瓷靶低气压下尤其明显，金属靶还没有遇到这个问题
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12楼2013-07-01 10:23:39
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH（SMITH）射频电源替换测试，他们的是自动匹配，一换上就好了。
     手动调节需要耐心慢慢调。
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13楼2013-09-27 09:54:51
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hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

匹配器问题，换过靶材一般都需要调匹配器。。
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Stayhungry,stayfoolish.
14楼2013-11-13 20:44:43
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匹配器呢

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-21 10:33:37
应该是你的功率匹配没调好吧  我们实验室也是沈科仪的设备，功率匹配是要手动调的，换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉

您好，请问你学校是哪里的？我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复
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没有多少青春可以挥霍了！！
15楼2013-12-03 15:49:55
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scienceand

新虫 (初入文坛)
同意七楼的观点，有可能是射频的天线有问题导致能量传不过来。
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16楼2014-08-25 17:34:44
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antorr

新虫 (初入文坛)
我是北京的射频厂家，此设备最后发现是匹配器到负载的射频电缆接触不良（老化），造成不能起辉。
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17楼2014-11-25 08:32:12
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
若没有起辉可尝试增大压强，打开靶挡板看到辉光后再调节功率匹配器，匹配器的指针在一格之内
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18楼2014-12-25 16:19:43
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)
我们组也用的这台设备，可是镀出来的金属膜氧含量特别高，基本都是30%左右，想请问各位有没有遇见过这种情况啊？这个问题困扰我们很久了，各种气路都检修了，还是不行呢
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19楼2014-12-26 20:26:32
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小哥华少D

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 匹配器呢 at 2013-12-03 15:49:55
您好，请问你学校是哪里的？我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复...

求交流，164979713
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20楼2015-03-28 10:50:17
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