24小时热门版块排行榜    

查看: 4483  |  回复: 20

138dong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你可以把功率源和匹配器从仪器上取下来,把它们两个单独连接,并通电,通电之前把匹配器上盖打开。通电后,用灯管(实验室平时照明用的即可)放在匹配器内的螺旋线圈上方,若灯管发亮,则射频设备没有问题,问题应该出现在射频反馈和腔室气压,这两个需慢慢调试匹配
书上有路勤为径
11楼2013-06-24 16:58:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zcq4891

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们用的一样的设备,也遇到你一样的问题,后来发现射频电源有一个起辉气压,要把气压调高一些起辉后在调节气压。
我也向你请教一个问题:你在做实验时有没有发现射频电源不稳定,总是一两分钟就匹配一下,在溅射陶瓷靶低气压下尤其明显,金属靶还没有遇到这个问题
12楼2013-07-01 10:23:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH(SMITH)射频电源替换测试,他们的是自动匹配,一换上就好了。
     手动调节需要耐心慢慢调。
13楼2013-09-27 09:54:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

匹配器问题,换过靶材一般都需要调匹配器。。
Stayhungry,stayfoolish.
14楼2013-11-13 20:44:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匹配器呢

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-21 10:33:37
应该是你的功率匹配没调好吧  我们实验室也是沈科仪的设备,功率匹配是要手动调的,换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉

您好,请问你学校是哪里的?我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复
没有多少青春可以挥霍了!!
15楼2013-12-03 15:49:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scienceand

新虫 (初入文坛)


同意七楼的观点,有可能是射频的天线有问题导致能量传不过来。
16楼2014-08-25 17:34:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

antorr

新虫 (初入文坛)

我是北京的射频厂家,此设备最后发现是匹配器到负载的射频电缆接触不良(老化),造成不能起辉。
17楼2014-11-25 08:32:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)

若没有起辉可尝试增大压强,打开靶挡板看到辉光后再调节功率匹配器,匹配器的指针在一格之内
18楼2014-12-25 16:19:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

我们组也用的这台设备,可是镀出来的金属膜氧含量特别高,基本都是30%左右,想请问各位有没有遇见过这种情况啊?这个问题困扰我们很久了,各种气路都检修了,还是不行呢
19楼2014-12-26 20:26:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小哥华少D

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by 匹配器呢 at 2013-12-03 15:49:55
您好,请问你学校是哪里的?我实验室也是用沈科仪磁控溅射设备。希望可以有经验交流。望回复...

求交流,164979713
20楼2015-03-28 10:50:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mengbin 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 什么时候开奖? +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +5 炎黄贵胄 2026-08-22 6/300 2026-08-24 06:34 by sincosx
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +16 羊腰板 2026-08-21 17/850 2026-08-23 23:02 by tianxiaochun
[基金申请] 让我中一个面上吧! +12 大萍1987 2026-08-20 15/750 2026-08-23 20:44 by 大萍1987
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
请填处理意见