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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
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mengbin

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）

各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。
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1楼 2012-11-08 22:25:16
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
若没有起辉可尝试增大压强，打开靶挡板看到辉光后再调节功率匹配器，匹配器的指针在一格之内
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18楼2014-12-25 16:19:43
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daling8210

铁虫 (正式写手)
不知道啊，你用直流靶引一下试试？
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2楼2012-11-08 23:27:58
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oxky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 07:07:22
如果没有短路，射频开启后，是否有反射功率，有没试着增加功率？如果改过腔体或靶，不起辉应该是匹配有问题。设备是否是自动匹配？手动的话就要自己调。由于设备调整过，自动的话有可能超出了自动调整范围。如果是大功率电源的话，通常在匹配器中有电感可以选择不同的位置连接，有的也可通过调可变电容接线位来调整范围。调整方式应该可以在电源说明书中找到。注改完调试或手动匹配是，采用小功率进行。
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roadlesstraveled
3楼2012-11-09 16:38:21
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
起辉？频率有改变吗？ 气体纯度有影响
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
4楼2012-11-09 18:40:18
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查看全部 21 个回答
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