| 查看: 2050 | 回复: 16 | ||
lzg919530615金虫 (正式写手)
|
[求助]
溅射系统真空度抽不上去 已有7人参与
|
|
|
系统放在超净室里面，泵是机械泵和分子泵，平时只溅射氧化物材料，之前抽真空还行，用3个小时大概可以抽到5E-4，其间有一个星期没用设备了（离开的时候设备压强大概是10Pa左右），回来后真空抽的很慢，5个多小时才抽到6E-4，有可能是什么原因呢？谢谢啦！ PS（把机械泵、分子泵停了，设备放置12小时压强从0.5Pa变为2Pa，密封性应该还不错吧） |
回复此楼» 猜你喜欢
AI工具帮你轻松分析材料图像
已经有1人回复
-
AI工具帮你轻松分析材料晶粒度
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有96人回复
-
AI工具帮你轻松分析材料晶粒度
已经有1人回复
-
招生宣传完结
已经有28人回复
-
26年申博自荐-本硕双非-一篇欧陶一作一篇国陶在投-碳化硅陶瓷增材制造方向
已经有12人回复
-
求助JCPDS卡片65-1073
已经有0人回复
-
淄博无机非金属材料测试
已经有0人回复
-
Visual Minteq软件使用求助
已经有1人回复
-
085600 321求调剂
已经有1人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障
已经有7人回复
- 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
- 真空冷冻干燥机 真空度不上升，或者说上升缓慢怎么办
已经有14人回复
- 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？
已经有7人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 磁控溅射高真空抽不下去
已经有12人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
已经有6人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 蒸发镀膜真空度问题讨论
已经有6人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 如何提高减压蒸馏过程中的真空度
已经有9人回复
- 【求助】实验室的玻璃真空干燥器真空怎么抽，真空度多少为安全，真空度高会不会爆炸
已经有11人回复
- 【求助】反应釜空釜时真空很好，但在实验过程中真空就上不去
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
- 【讨论】冻干机的真空度下不去，真空为0.42mbar 能成功冻干样品吗
已经有9人回复
superhamlet
金虫 (小有名气)
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 2132
- 红花: 8
- 帖子: 280
- 在线: 145.7小时
- 虫号: 1181560
- 注册: 2011-01-01
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭动旋钮，然后我发现真空度一下子就开始下去了。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
4楼2013-12-11 20:43:45
wiseroy
木虫 (著名写手)
更多共享-更多交流-更多进步
- 应助: 54 (初中生)
- 金币: 3129.4
- 散金: 1114
- 红花: 9
- 帖子: 1014
- 在线: 225.8小时
- 虫号: 1169386
- 注册: 2010-12-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2013-12-12 21:03:12
wiseroy
木虫 (著名写手)
更多共享-更多交流-更多进步
- 应助: 54 (初中生)
- 金币: 3129.4
- 散金: 1114
- 红花: 9
- 帖子: 1014
- 在线: 225.8小时
- 虫号: 1169386
- 注册: 2010-12-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2013-12-11 19:37:59
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:38:14
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:38:14
| 开个腔用酒精擦拭下内壁和密封圈，有必要的话砂纸打磨下靶罩和挡板；真空抽到负3开烘烤几个小时，这样应该会达到理想真空度吧。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
3楼2013-12-11 20:33:48
lzg919530615
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 776.3
- 散金: 7
- 红花: 2
- 帖子: 647
- 在线: 40.1小时
- 虫号: 1790226
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2013-12-12 20:59:04
lzg919530615
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 776.3
- 散金: 7
- 红花: 2
- 帖子: 647
- 在线: 40.1小时
- 虫号: 1790226
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
7楼2013-12-12 21:05:22
lzg919530615
金虫 (正式写手)
|
。 |
8楼2013-12-12 21:06:22
lzg919530615
金虫 (正式写手)
送红花一朵 |
。 |
9楼2013-12-12 21:06:37
lzg919530615
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 776.3
- 散金: 7
- 红花: 2
- 帖子: 647
- 在线: 40.1小时
- 虫号: 1790226
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
10楼2013-12-12 21:08:53
