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lzg919530615

金虫 (正式写手)

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[求助] 溅射系统真空度抽不上去已有7人参与

系统放在超净室里面，泵是机械泵和分子泵，平时只溅射氧化物材料，之前抽真空还行，用3个小时大概可以抽到5E-4，其间有一个星期没用设备了（离开的时候设备压强大概是10Pa左右），回来后真空抽的很慢，5个多小时才抽到6E-4，有可能是什么原因呢？谢谢啦！
PS（把机械泵、分子泵停了，设备放置12小时压强从0.5Pa变为2Pa，密封性应该还不错吧）

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1楼2013-12-11 16:27:44

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lzg919530615

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

4楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-11 20:43:45
除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭 ...

我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大