应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 溅射系统真空度抽不上去
172/2返回列表上一页12
查看: 2549  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lzg919530615

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-11 20:43:45
除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭 ...

我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大
赞一下 回复此楼
11楼2013-12-12 21:12:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by lzg919530615 at 2013-12-12 21:12:52
我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大...

哦，我想说的是，因为阀门的滑失而产生的偏差，可能你已经达到关紧的位置了，但其实它处在另一个位置。建议在这时将阀门来回缓慢旋转，同时观察真空度的变化。
赞一下 回复此楼
12楼2013-12-13 00:54:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pch1967

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一个星期没用设备，机械泵的真空油可能吸附了一些水和其他气体，机械泵要打一下气镇，要让真空油里吸附了一些水和其他气体蒸发出去。
赞一下 回复此楼
13楼2013-12-13 07:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuemingzheng

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
为什么不联系一下当初购买机械泵和真空泵的厂家，要求检查一下呢？
这种时候他们才更专业吧。
赞一下 回复此楼
14楼2013-12-13 09:14:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jey321

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:40:23
泵是一种可能，石英管什么的损耗了也是有可能的，我们也遇到过这种情况，后来换了个石英管
赞一下 回复此楼
15楼2013-12-13 09:21:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:38:51
首先，酒精不能碰密封圈。
否则还得涂密封胶。可以用酒精把里面其他地方擦一遍。
你这个先烘烤腔室，多烤会，然后使劲抽。基本能解决。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
喵了个咪的~
16楼2013-12-13 10:03:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sinbad.l

新虫 (初入文坛)
根据楼主所说，低真空时抽气速率还行，高真空就慢了，可能是被污染了，也就是存在放气源，除了仔细清理（应该有不常用的材料被沉积在腔壁了），再就是持续烘烤抽气，直至放气源被抽完；
赞一下 回复此楼
17楼2014-01-18 20:40:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzg919530615 的主题更新
172/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 5/250 2026-11-07 16:17 by Xc2FxHsHkBNc
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 7/350 2026-11-06 16:43 by 5sJFDKp2kwuI
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 14/700 2026-11-06 16:32 by 5sJFDKp2kwuI
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:23 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 15/750 2026-11-06 13:49 by BkA9Bi5cMhkD
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +7 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 14/700 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +7 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 17/850 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 11/550 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +8 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 14/700 2026-11-06 13:36 by BkA9Bi5cMhkD
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 10/500 2026-11-06 05:32 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:11 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 kvewwGtKktqB 2026-11-04 11/550 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-06 04:47 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:15 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-06 01:51 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:42 by qL1cU46YIdK0
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-05 11:10 by PYZmcHr5kSaq
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭