应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 溅射系统真空度抽不上去
172/2返回列表上一页12
查看: 2358  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lzg919530615

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-11 20:43:45
除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭 ...

我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大
赞一下 回复此楼
11楼2013-12-12 21:12:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by lzg919530615 at 2013-12-12 21:12:52
我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大...

哦，我想说的是，因为阀门的滑失而产生的偏差，可能你已经达到关紧的位置了，但其实它处在另一个位置。建议在这时将阀门来回缓慢旋转，同时观察真空度的变化。
赞一下 回复此楼
12楼2013-12-13 00:54:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pch1967

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一个星期没用设备，机械泵的真空油可能吸附了一些水和其他气体，机械泵要打一下气镇，要让真空油里吸附了一些水和其他气体蒸发出去。
赞一下 回复此楼
13楼2013-12-13 07:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuemingzheng

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
为什么不联系一下当初购买机械泵和真空泵的厂家，要求检查一下呢？
这种时候他们才更专业吧。
赞一下 回复此楼
14楼2013-12-13 09:14:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jey321

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:40:23
泵是一种可能，石英管什么的损耗了也是有可能的，我们也遇到过这种情况，后来换了个石英管
赞一下 回复此楼
15楼2013-12-13 09:21:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:38:51
首先，酒精不能碰密封圈。
否则还得涂密封胶。可以用酒精把里面其他地方擦一遍。
你这个先烘烤腔室，多烤会，然后使劲抽。基本能解决。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
喵了个咪的~
16楼2013-12-13 10:03:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sinbad.l

新虫 (初入文坛)
根据楼主所说，低真空时抽气速率还行，高真空就慢了，可能是被污染了，也就是存在放气源，除了仔细清理（应该有不常用的材料被沉积在腔壁了），再就是持续烘烤抽气，直至放气源被抽完；
赞一下 回复此楼
17楼2014-01-18 20:40:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzg919530615 的主题更新
172/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +10 ziyangfang 2026-08-19 11/550 2026-08-19 17:19 by wdc28
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +53 医学老男孩 2026-08-13 117/5850 2026-08-19 17:12 by 医学老男孩
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +4 瞬息宇宙 2026-08-15 4/200 2026-08-19 16:23 by allmydream
[基金申请] 今天放榜吗？ +12 布布和一二 2026-08-19 13/650 2026-08-19 14:33 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +10 yuleib84 2026-08-18 11/550 2026-08-19 07:30 by 羽毛枫f
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭