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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 溅射系统真空度抽不上去
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lzg919530615

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-11 20:43:45
除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭 ...

我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大
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11楼2013-12-12 21:12:52
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superhamlet

金虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by lzg919530615 at 2013-12-12 21:12:52
我把所有的阀门都关紧了，还是抽不下去，那个有没有研究过哪些阀门导致这种情况的可能性比较大...

哦，我想说的是，因为阀门的滑失而产生的偏差，可能你已经达到关紧的位置了，但其实它处在另一个位置。建议在这时将阀门来回缓慢旋转，同时观察真空度的变化。
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12楼2013-12-13 00:54:07
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pch1967

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一个星期没用设备，机械泵的真空油可能吸附了一些水和其他气体，机械泵要打一下气镇，要让真空油里吸附了一些水和其他气体蒸发出去。
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13楼2013-12-13 07:28:08
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yuemingzheng

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
为什么不联系一下当初购买机械泵和真空泵的厂家，要求检查一下呢？
这种时候他们才更专业吧。
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14楼2013-12-13 09:14:02
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Jey321

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:40:23
泵是一种可能，石英管什么的损耗了也是有可能的，我们也遇到过这种情况，后来换了个石英管
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15楼2013-12-13 09:21:30
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2013-12-25 21:38:51
首先，酒精不能碰密封圈。
否则还得涂密封胶。可以用酒精把里面其他地方擦一遍。
你这个先烘烤腔室，多烤会，然后使劲抽。基本能解决。

[ 发自小木虫客户端 ]
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喵了个咪的~
16楼2013-12-13 10:03:50
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sinbad.l

新虫 (初入文坛)
根据楼主所说，低真空时抽气速率还行，高真空就慢了，可能是被污染了，也就是存在放气源，除了仔细清理（应该有不常用的材料被沉积在腔壁了），再就是持续烘烤抽气，直至放气源被抽完；
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17楼2014-01-18 20:40:17
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