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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
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陈勇跃

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ]
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1楼2010-09-29 14:29:02
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陈勇跃: 金币+1, 谢谢应助 2012-05-02 13:33:43
纯氩气的辉光是蓝色，但是你不是溅射SiO2吗？O参与了等离子体可能改变发射光谱。射频磁控溅射可以起辉但不能沉积就需要看看自偏压的大小了，如果自偏压过低，那么就无法溅射。楼主先查一查Ar离子轰击Si的溅射阈值，然后可以计算一下需要的最低电压，与目前的自偏压比较一下就知道是否需要增加溅射功率了！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
8楼2012-04-29 02:03:06
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