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陈勇跃

金虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ]

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1楼2010-09-29 14:29:02

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shenyang_c

金虫 (小有名气)

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陈勇跃(金币+1):谢谢，高功率也试过，也是不明显，太高怕打坏靶 2010-10-01 11:27:06

引用回帖:

Originally posted by 陈勇跃 at 2010-09-29 14:29:02:
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-2 ...

沉积不出来，就换高功率试试吧。粉红色辉光没问题。

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4楼2010-09-29 16:14:21

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