| 查看: 2964 | 回复: 14 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
陈勇跃金虫 (正式写手)
|
[交流]
【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
|
||
|
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？ [ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
三甲基碘化亚砜的氧化反应
已经有4人回复
-
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢
已经有5人回复
-
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有5人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有12人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有3人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
-
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生
已经有6人回复
-
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？
已经有3人回复
-
论文投稿，期刊推荐
已经有4人回复
-
硕士和导师闹得不愉快
已经有13人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复- 溅射系统真空度抽不上去
已经有16人回复
- 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
已经有33人回复
- 直流磁控溅射电源问题
已经有4人回复
- 磁控溅射TiN的颜色问题
已经有8人回复
- 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
已经有14人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- Sputter磁控溅射的设置单位问题
已经有9人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗？
已经有7人回复
- 新手做二氧化硅空心球的问题
已经有14人回复
- 太阳能用的单晶硅片可以用来做磁控溅射的基底吗？
已经有7人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
6楼2010-10-01 22:54:58
lulinsmann
木虫 (著名写手)
三无小小鸟
- 应助: 90 (初中生)
- 金币: 10459.2
- 散金: 125
- 红花: 7
- 帖子: 2465
- 在线: 693.4小时
- 虫号: 386161
- 注册: 2007-05-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
2楼2010-09-29 15:41:45
211985:mad:
木虫 (著名写手)
格格
- 物理EPI: 1
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3183.8
- 散金: 335
- 红花: 29
- 帖子: 2483
- 在线: 624.3小时
- 虫号: 881385
- 注册: 2009-10-23
- 性别: MM
- 专业: 运动生理学
3楼2010-09-29 15:57:58
shenyang_c
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 928.7
- 散金: 84
- 帖子: 214
- 在线: 102.7小时
- 虫号: 728917
- 注册: 2009-03-23
- 专业: 等离子体物理
4楼2010-09-29 16:14:21