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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Sio2沉积是挺慢的，我们的参数如下:
4inch靶
280w
偏压500v左右

供参考

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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11楼2014-04-17 16:02:43
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loveyx1129

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by vincentwz at 2014-04-17 16:02:43
Sio2沉积是挺慢的，我们的参数如下:
4inch靶
280w
偏压500v左右

供参考

我的是二氧化硅FJL560 C靶
最大功率只能到150W，这样的话，时间长一些可以么？
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12楼2014-04-17 17:20:49
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by loveyx1129 at 2014-04-17 17:20:49
我的是二氧化硅FJL560 C靶
最大功率只能到150W，这样的话，时间长一些可以么？...

可以试试镀90分钟看看厚度

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13楼2014-04-17 21:15:00
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hjhqq8768029

新虫 (小有名气)
嗯 学习一下...

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14楼2015-01-11 22:31:40
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good256

铜虫 (正式写手)
60W功率太小了，二氧化硅溅射速率很低
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15楼2015-07-24 01:52:41
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