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心在飘

木虫 (初入文坛)

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9楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2011-10-25 21:18:54:
我没镀过氧化铝，同学镀过很多氧化锆。
看来不是时间和规律的问题。是不是靶材的问题啊，将靶材重新清洗一下。
后者你的Ａｒ：Ｏ２比是否合适啊，你可以参考文献变化一下。

靶材没问题，氧化铜，氧化硅都能镀上，就氧化铝现在还没，估计是仪器本身的问题，得用中频反应溅射试试

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11楼2011-10-26 09:10:18

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dwysd

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★
wbcui(金币+2): 不错，你的条件都写出来了 2011-10-26 20:24:12
心在飘(金币+1): 那你的本底真空度和溅射压强是多少呢，我为什么一点都没镀上 2011-10-26 20:39:32

当时做的条件，Ar/O2=20/5 (sccm)，Al 靶RF溅射功率300W左右，靶基距不超过10cm，从来没有问题过。

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12楼2011-10-26 14:06:34

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lwei_txj

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★
wbcui(金币+2): 靶中毒，什么意思？ 2011-10-26 20:24:42

建议查阅一些相关的书籍，先对制备方法了解以后再去做实验，包括一些基础的表征方法，都应该了解。
向实验室的其他人多学习。
做学问不是培养操作工的。
铝的溅射阈值本身就不太高，如果氧气量比较大的话很容易靶中毒，不管多长时间基底上肯定也没东西的。

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13楼2011-10-26 15:48:51

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心在飘

木虫 (初入文坛)

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13楼: Originally posted by lwei_txj at 2011-10-26 15:48:51:
建议查阅一些相关的书籍，先对制备方法了解以后再去做实验，包括一些基础的表征方法，都应该了解。
向实验室的其他人多学习。
做学问不是培养操作工的。
铝的溅射阈值本身就不太高，如果氧气量比较大的话很容易 ...

关键是氧气量已经很小，通1sccm都没镀上，连铝都没溅射上，你镀过吗？参数多少？

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14楼2011-10-26 20:41:54

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