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磁控溅射与反应磁控溅射
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心在飘
木虫
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专业: 等离子体物理
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磁控溅射与反应磁控溅射
已有1人参与
有做磁控溅射或反应磁控溅射镀氧化铝薄膜的吗?怎么镀上去的呀?有什么关键控制吗?我怎么镀不上去呀
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1楼
2011-10-25 11:08:40
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qw905
至尊木虫
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专业: 金属功能材料
【答案】应助回帖
建议看看王怡德《磁控溅射技术》!
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15楼
2011-10-27 08:53:59
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大鲨鱼邓肯
木虫
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大鲨鱼邓肯
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专业: 碳素材料与超硬材料
★
wbcui(金币+1): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-26 20:22:22
基底是什么呀?可能是膜基结合力的问题!
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Neverlosemybearings,justbemyself!
2楼
2011-10-25 14:25:58
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dwysd
木虫
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★
心在飘(金币+1): 真有那么容易我就不问了,氧气通的量已经很小了,但连铝都溅射不上,更别说是反应溅射氧化铝了 2011-10-25 15:45:18
wbcui(金币+1): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-26 20:22:06
Al 靶加Ar/O2混合气体溅射,很容易溅射沉积的。
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3楼
2011-10-25 14:56:09
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心在飘
木虫
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专业: 等离子体物理
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2楼
:
Originally posted by
大鲨鱼邓肯
at 2011-10-25 14:25:58:
基底是什么呀?可能是膜基结合力的问题!
基地用的玻璃,溅射得到的铜膜,还有铝膜,三种都试过,都溅射不上
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4楼
2011-10-25 15:46:31
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