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rulerskp

金虫 (小有名气)

[求助] 做磁控溅射的朋友请进

跪求高手赐教,磁控溅射过程中入射离子能量是如何计算的?比如采用Ar作为工作气体,此时Ar+到达靶材表面的能量是如何计算?
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:17
基体电压就是单个离子的溅射能量
2楼2011-07-17 12:08:19
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:24
引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:08:19:
基体电压就是单个离子的溅射能量

就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。
3楼2011-07-17 12:13:05
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rulerskp

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:13:05:
就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。

这个跟基体电压没有关系吧,我指的是Ar+到达靶材表面的能量,难道说是靶电压么?这其中的放电过程产生的能量对Ar+到达靶表面的能量有影响吗?
4楼2011-07-17 13:52:54
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by rulerskp at 2011-07-17 13:52:54:
这个跟基体电压没有关系吧,我指的是Ar+到达靶材表面的能量,难道说是靶电压么?这其中的放电过程产生的能量对Ar+到达靶表面的能量有影响吗?

这个问题真不好回答,我个人认为溅射靶材的离子如Ar+的能量是有一个分布:M氏分布。离子能量的平均值或最可几能量与真空度,靶材,靶电压或靶电流有关,还与直流与交流的不同有关。基体偏压也能影响离子能量大小及分布。但归根到底还是与靶面电磁场有关。
与君共学共进
5楼2011-07-17 15:12:56
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

rulerskp(金币+5): 谢谢,我看看 2011-07-20 08:14:20
如果硬要说的很具体的话,能量跟基体的电压和沉积过程中的等离子体的电势有关系(差值),不介意的话,我给你看一下我的一篇文章。
http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0040609009008633
6楼2011-07-19 10:02:29
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

rulerskp(金币+3): 呵呵,非常感谢您的热心,谢谢! 2011-07-20 08:14:46
对不起,我误解你的意思了,我以为是到达基体的能量,到达靶材的能量跟靶材电压的关系较大,磁场和等离子体的电势虽然有一定的影响,但相对于靶材电压值获得的能量,其影响较小。
7楼2011-07-19 10:08:14
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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

科研屌丝

【答案】应助回帖

rulerskp(金币+2): 2011-07-22 11:23:49
主要与靶偏压有关,通常认为离子能量是离子在电场中加速所获得的,但同时与真空度即分子自由程有一定的关系。
8楼2011-07-20 16:12:37
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inventor110

铜虫 (小有名气)

这个 和多种参数有关,如果是直流溅射的话,显然和电流电压有关,交流的话和射频功率有关。另外和真空度以及靶盖和靶罩的间距有也有很大关系,如果要具体算这个入射离子能量有较多大,需要考虑的因素很多!
博学笃志,格物明德~
9楼2012-03-27 18:21:44
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敖永翠

金虫 (小有名气)

直接用拉谬儿探针测就出来了把,不用计算把
小翠,加油
10楼2012-09-21 13:34:06
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