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rulerskp

金虫 (小有名气)

[求助] 做磁控溅射的朋友请进

跪求高手赐教,磁控溅射过程中入射离子能量是如何计算的?比如采用Ar作为工作气体,此时Ar+到达靶材表面的能量是如何计算?
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

rulerskp(金币+3): 呵呵,非常感谢您的热心,谢谢! 2011-07-20 08:14:46
对不起,我误解你的意思了,我以为是到达基体的能量,到达靶材的能量跟靶材电压的关系较大,磁场和等离子体的电势虽然有一定的影响,但相对于靶材电压值获得的能量,其影响较小。
7楼2011-07-19 10:08:14
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:17
基体电压就是单个离子的溅射能量
2楼2011-07-17 12:08:19
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:24
引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:08:19:
基体电压就是单个离子的溅射能量

就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。
3楼2011-07-17 12:13:05
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rulerskp

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:13:05:
就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。

这个跟基体电压没有关系吧,我指的是Ar+到达靶材表面的能量,难道说是靶电压么?这其中的放电过程产生的能量对Ar+到达靶表面的能量有影响吗?
4楼2011-07-17 13:52:54
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