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【求助】做磁控溅射的虫友们请进
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利用磁控溅射镀氧化物薄膜的虫友们遇到过这样的问题吗？就是样品或者太导电，或者就是不导电，没有中间情况，具体的说就是通氧就不导电，不通氧就非常导电，测试载流子浓度，电导率要不就是非常高，在不就是非常低,有没有遇到同样情况的虫友，请问你们是怎么改变这样情况的 [ Last edited by yuh1984 on 2011-4-7 at 21:34 ] |
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