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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】做磁控溅射的虫友们请进
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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】做磁控溅射的虫友们请进

利用磁控溅射镀氧化物薄膜的虫友们遇到过这样的问题吗？就是样品或者太导电，或者就是不导电，没有中间情况，具体的说就是通氧就不导电，不通氧就非常导电，测试载流子浓度，电导率要不就是非常高，在不就是非常低,有没有遇到同样情况的虫友，请问你们是怎么改变这样情况的

[ Last edited by yuh1984 on 2011-4-7 at 21:34 ]
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1楼 2011-03-28 12:45:31
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rzy1020

木虫 (小有名气)
不明白，你本来不是就是想溅射氧化物么？那不导电不是就刚刚好么？
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4楼2011-03-28 16:23:04
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
yuh1984(金币+1): 2011-03-28 15:28:03
没做过，啥材料啊？氧化性气氛产物更倾向于氧化物，导电性要差点啊
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2楼2011-03-28 13:22:29
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)
yuh1984(金币+1): 2011-03-28 15:28:07
看来是氧太对了，都氧化成氧化物了
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3楼2011-03-28 13:32:27
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erty

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫:)(金币+3): 3q 2011-04-08 01:09:47
氧化物好多都是半导体，也有绝缘体的，不导电是正常的。
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6楼2011-04-06 22:20:50
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