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rulerskp金虫 (小有名气)
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做磁控溅射的朋友请进
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【答案】应助回帖
rulerskp(金币+5): 谢谢，我看看 2011-07-20 08:14:20
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如果硬要说的很具体的话，能量跟基体的电压和沉积过程中的等离子体的电势有关系（差值），不介意的话，我给你看一下我的一篇文章。 http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0040609009008633 |
6楼2011-07-19 10:02:29
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2楼2011-07-17 12:08:19
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3楼2011-07-17 12:13:05
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