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rulerskp

金虫 (小有名气)

[求助] 做磁控溅射的朋友请进

跪求高手赐教,磁控溅射过程中入射离子能量是如何计算的?比如采用Ar作为工作气体,此时Ar+到达靶材表面的能量是如何计算?
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

rulerskp(金币+5): 谢谢,我看看 2011-07-20 08:14:20
如果硬要说的很具体的话,能量跟基体的电压和沉积过程中的等离子体的电势有关系(差值),不介意的话,我给你看一下我的一篇文章。
http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0040609009008633
6楼2011-07-19 10:02:29
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:17
基体电压就是单个离子的溅射能量
2楼2011-07-17 12:08:19
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-07-17 12:16:24
引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:08:19:
基体电压就是单个离子的溅射能量

就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。
3楼2011-07-17 12:13:05
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rulerskp

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by csuchenli927 at 2011-07-17 12:13:05:
就是离子在电场中运动获得的能量,当然可能因为在运动过程中受其它粒子的碰撞有一些损失,但在磁控溅射的高真空环境中,基本可忽略。

这个跟基体电压没有关系吧,我指的是Ar+到达靶材表面的能量,难道说是靶电压么?这其中的放电过程产生的能量对Ar+到达靶表面的能量有影响吗?
4楼2011-07-17 13:52:54
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