24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
查看: 1942  |  回复: 8

wangweijun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 铟靶

各位高手,求给力,小女子先谢过各位!
我想用磁控溅射打铟靶,请问有谁做过没?铟靶熔点156度,如何控制,才能避免铟靶融化?~~~
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射  铟靶正常溅射就是了  如果不放心转盘通冷却水
何必看破
2楼2013-03-07 21:25:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:54
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢
3楼2013-03-08 11:12:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢

进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗?溅射时能产生多高的温度啊?
4楼2013-03-11 09:31:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 09:31:03
进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗?溅射时能产生多高的温度啊?...

不大明白你的问题,你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢
5楼2013-03-11 11:13:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

linjie137

禁虫 (正式写手)

zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:29:00
本帖内容被屏蔽

6楼2013-03-11 12:32:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-11 11:13:41
不大明白你的问题,你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢...

就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊?
7楼2013-03-11 12:38:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by linjie137 at 2013-03-11 12:32:46
如果靶材和磁控靶座接触不好的话会出现局部温度过高,靶材融化的现象。不过目前使用磁控溅射法制备ITO已经非常普遍,使用的就是铟靶和锡靶,貌似你担心的问题早就解决了。

这不是也得考虑实际仪器情况吗。。。。。
8楼2013-03-11 12:38:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 12:38:28
就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊?...

你的冷却水是在流动的,所以肯定低于100度啊,我以前用过的生产设备出水比进水差不多会多8-20度的样子,具体忘记了,不会高于50。
9楼2013-03-11 14:46:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangweijun 的主题更新
信息提示
请填处理意见