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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 铟靶
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wangweijun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 铟靶

各位高手，求给力，小女子先谢过各位！
我想用磁控溅射打铟靶，请问有谁做过没？铟靶熔点156度，如何控制，才能避免铟靶融化？~~~
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1楼 2013-03-07 19:48:42
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射  铟靶正常溅射就是了  如果不放心转盘通冷却水
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何必看破
2楼2013-03-07 21:25:09
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:54
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢
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3楼2013-03-08 11:12:00
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wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢

进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗？溅射时能产生多高的温度啊？
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4楼2013-03-11 09:31:03
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 09:31:03
进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗？溅射时能产生多高的温度啊？...

不大明白你的问题，你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢
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5楼2013-03-11 11:13:41
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linjie137

禁虫 (正式写手)
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:29:00
本帖内容被屏蔽
6楼2013-03-11 12:32:46
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wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-11 11:13:41
不大明白你的问题，你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢...

就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊？
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7楼2013-03-11 12:38:28
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wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by linjie137 at 2013-03-11 12:32:46
如果靶材和磁控靶座接触不好的话会出现局部温度过高，靶材融化的现象。不过目前使用磁控溅射法制备ITO已经非常普遍，使用的就是铟靶和锡靶，貌似你担心的问题早就解决了。

这不是也得考虑实际仪器情况吗。。。。。
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8楼2013-03-11 12:38:57
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 12:38:28
就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊？...

你的冷却水是在流动的，所以肯定低于100度啊，我以前用过的生产设备出水比进水差不多会多8-20度的样子，具体忘记了，不会高于50。
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9楼2013-03-11 14:46:27
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