应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 铟靶
91/1返回列表
查看: 2223  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wangweijun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 铟靶

各位高手，求给力，小女子先谢过各位！
我想用磁控溅射打铟靶，请问有谁做过没？铟靶熔点156度，如何控制，才能避免铟靶融化？~~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 19:48:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射  铟靶正常溅射就是了  如果不放心转盘通冷却水
赞一下 回复此楼
何必看破
2楼2013-03-07 21:25:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:54
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-08 11:12:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢

进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗？溅射时能产生多高的温度啊？
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-11 09:31:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 09:31:03
进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗？溅射时能产生多高的温度啊？...

不大明白你的问题，你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢
赞一下 回复此楼
5楼2013-03-11 11:13:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

linjie137

禁虫 (正式写手)
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:29:00
本帖内容被屏蔽
6楼2013-03-11 12:32:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-11 11:13:41
不大明白你的问题，你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢...

就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊？
赞一下 回复此楼
7楼2013-03-11 12:38:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by linjie137 at 2013-03-11 12:32:46
如果靶材和磁控靶座接触不好的话会出现局部温度过高，靶材融化的现象。不过目前使用磁控溅射法制备ITO已经非常普遍，使用的就是铟靶和锡靶，貌似你担心的问题早就解决了。

这不是也得考虑实际仪器情况吗。。。。。
赞一下 回复此楼
8楼2013-03-11 12:38:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by wangweijun at 2013-03-11 12:38:28
就是说 我的冷却水是冷却13度 流进靶座 我的意思的 这个室温的冷却水 能把靶位降低到多少度啊？...

你的冷却水是在流动的，所以肯定低于100度啊，我以前用过的生产设备出水比进水差不多会多8-20度的样子，具体忘记了，不会高于50。
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-11 14:46:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangweijun 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 260求调剂 +3 Zyt1314520.. 2026-04-17 4/200 2026-04-17 21:06 by Eurekall
[考研] 295分求调剂 +5 ?要上岸? 2026-04-17 5/250 2026-04-17 16:51 by fenglj492
[考研] 一志愿沪9，326求生物学调剂 +11 刘墨墨 2026-04-13 11/550 2026-04-17 15:35 by wanganpin
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
[考研] 279求调剂 +13 张番茄不炒蛋 2026-04-11 13/650 2026-04-17 10:38 by cuisz
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 5/250 2026-04-17 10:02 by bobvan
[考研] 急需调剂 +7 绝不放弃22 2026-04-15 7/350 2026-04-16 22:09 by SUSE_CL
[考博] 申博自荐 +3 Linxia林夏 2026-04-13 3/150 2026-04-16 12:55 by 墨荷之露
[考研] 327求调剂 +26 Xxjc1107. 2026-04-13 29/1450 2026-04-16 10:52 by Espannnnnol
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +4 白云123456789 2026-04-13 4/200 2026-04-16 00:18 by 粉沁若尘
[考研] 药学305求调剂 +7 玛卡巴卡boom 2026-04-11 7/350 2026-04-15 13:21 by 西北望—风沙
[考研] 271求调剂 +35 2261744733 2026-04-11 41/2050 2026-04-14 15:36 by zs92450
[考研] 305求调剂 +8 玛卡巴卡boom 2026-04-11 8/400 2026-04-14 09:04 by pengliang8036
[考研] 300分求调剂 （085501机械专硕，本科扬大） +9 xu@841019 2026-04-11 10/500 2026-04-14 08:48 by 木木mumu～
[考研] 302求调剂 +10 易！? 2026-04-13 10/500 2026-04-13 19:04 by lbsjt
[考研] 297工科，求调剂? +13 河南农业大学-能 2026-04-12 13/650 2026-04-13 14:12 by dingyanbo1
[考研] 0854调剂 +10 长弓傲 2026-04-11 11/550 2026-04-13 10:38 by wp06
[考研] 291求调剂 +8 关忆北. 2026-04-11 8/400 2026-04-12 09:32 by 逆水乘风
[考研] 求调剂，一志愿材料科学与工程985，365分， +8 材化李可 2026-04-11 10/500 2026-04-12 08:42 by 852137818
[考研] 求调剂 +3 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 14:13 by luhong1990
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭