应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 铟靶
51/1返回列表
查看: 2138  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 铟靶

各位高手，求给力，小女子先谢过各位！
我想用磁控溅射打铟靶，请问有谁做过没？铟靶熔点156度，如何控制，才能避免铟靶融化？~~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 19:48:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by linjie137 at 2013-03-11 12:32:46
如果靶材和磁控靶座接触不好的话会出现局部温度过高，靶材融化的现象。不过目前使用磁控溅射法制备ITO已经非常普遍，使用的就是铟靶和锡靶，貌似你担心的问题早就解决了。

这不是也得考虑实际仪器情况吗。。。。。
赞一下 回复此楼
8楼2013-03-11 12:38:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射  铟靶正常溅射就是了  如果不放心转盘通冷却水
赞一下 回复此楼
何必看破
2楼2013-03-07 21:25:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:54
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-08 11:12:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangweijun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子，你的靶座都是有冷却水的，这个就决定了你靶材不会超过100oC，除非冷却出问题了，所以怎么会融化呢

进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗？溅射时能产生多高的温度啊？
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-11 09:31:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +5 Soliloquy_Q 2026-02-28 9/450 2026-03-01 10:15 by Soliloquy_Q
[考研] 材料化工调剂 +3 今夏不夏 2026-03-01 3/150 2026-03-01 10:13 by 杨杨杨紫
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业，申博 +3 更多的是 2026-02-27 4/200 2026-03-01 10:04 by ztg729
[硕博家园] 博士自荐 +6 科研狗111 2026-02-26 10/500 2026-03-01 10:02 by 科研狗111
[考研] 272求调剂 +4 材紫有化 2026-02-28 4/200 2026-03-01 09:20 by L135790
[论文投稿] Optics letters投稿被拒求助 30+3 luckyry 2026-02-26 4/200 2026-03-01 09:06 by babero
[考研] 材料类求调剂 +7 wana_kiko 2026-02-28 7/350 2026-03-01 07:55 by ms629
[考研] 272求调剂 +4 田智友 2026-02-28 4/200 2026-03-01 06:43 by 刘兵
[考研] 285求调剂 +6 满头大汗的学生 2026-02-28 6/300 2026-03-01 06:29 by Trying]
[考研] 材料调剂 +4 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 4/200 2026-03-01 00:38 by 猫猫球alter
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
[考研] 304求调剂 +3 52hz~~ 2026-02-28 5/250 2026-03-01 00:00 by 52hz~~
[考研] 化工专硕348，一志愿985求调剂 +4 弗格个 2026-02-28 6/300 2026-02-28 22:00 by wang_dand
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +8 吃宵夜1 2026-02-28 10/500 2026-02-28 20:27 by L135790
[考研] 276求调剂 +3 路lyh123 2026-02-28 4/200 2026-02-28 19:45 by 路lyh123
[高分子] 求环氧树脂研发1名 +3 孙xc 2026-02-25 11/550 2026-02-28 16:57 by ichall
[考研] 0856调剂 +3 刘梦微 2026-02-28 3/150 2026-02-28 13:22 by houyaoxu
[考研] 寻找调剂 +3 LYidhsjabdj 2026-02-28 3/150 2026-02-28 12:59 by miniwendy
[基金申请] 面上可以超过30页吧？ +12 阿拉贡aragon 2026-02-22 13/650 2026-02-26 22:09 by Hahaxia
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭