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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2025级博士研究生招生报考通知
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wangweijun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 铟靶

各位高手,求给力,小女子先谢过各位!
我想用磁控溅射打铟靶,请问有谁做过没?铟靶熔点156度,如何控制,才能避免铟靶融化?~~~
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wangweijun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by linjie137 at 2013-03-11 12:32:46
如果靶材和磁控靶座接触不好的话会出现局部温度过高,靶材融化的现象。不过目前使用磁控溅射法制备ITO已经非常普遍,使用的就是铟靶和锡靶,貌似你担心的问题早就解决了。

这不是也得考虑实际仪器情况吗。。。。。
8楼2013-03-11 12:38:57
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射  铟靶正常溅射就是了  如果不放心转盘通冷却水
何必看破
2楼2013-03-07 21:25:09
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-12 09:28:54
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢
3楼2013-03-08 11:12:00
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wangweijun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢

进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗?溅射时能产生多高的温度啊?
4楼2013-03-11 09:31:03
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