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磁控溅射 铟靶
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wangweijun
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磁控溅射 铟靶
各位高手,求给力,小女子先谢过各位!
我想用磁控溅射打铟靶,请问有谁做过没?铟靶熔点156度,如何控制,才能避免铟靶融化?~~~
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1楼
2013-03-07 19:48:42
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dearhanzi
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4楼
:
Originally posted by
wangweijun
at 2013-03-11 09:31:03
进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗?溅射时能产生多高的温度啊?...
不大明白你的问题,你好像还没有搞清楚哪个温度是哪个呢
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5楼
2013-03-11 11:13:41
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zvs1988
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2013-03-12 09:28:47
锡靶都正常溅射 铟靶正常溅射就是了 如果不放心转盘通冷却水
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何必看破
2楼
2013-03-07 21:25:09
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dearhanzi
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2013-03-12 09:28:54
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢
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3楼
2013-03-08 11:12:00
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wangweijun
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3楼
:
Originally posted by
dearhanzi
at 2013-03-08 11:12:00
这位小女子,你的靶座都是有冷却水的,这个就决定了你靶材不会超过100oC,除非冷却出问题了,所以怎么会融化呢
进去的冷却水13度 RF溅射 能冷却到100以下吗?溅射时能产生多高的温度啊?
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4楼
2013-03-11 09:31:03
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