应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
51/1返回列表
查看: 1885  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

极地寒光

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围 已有3人参与

各位虫友，我目前做的是Fe-si-Al吸波材料，采用的是磁控溅射的方法，但是问现在这方面的讲述比较少，我采用的是Fe靶和Si-Al靶，想问一下Fe靶和Si-Al靶的溅射电压和电流是多少？我目前在Fe靶和Si-Al靶上施加的电压最多不超过400V，这时候的电流已经很大了，为2A左右，想继续增大电压机器就会响，所以400V以下的电压能够溅射出来东西吗？请各位大神帮助，急用，不甚感激！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
做最好的自己
1楼 2014-07-29 17:16:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
极地寒光: 金币+1 2014-07-30 19:36:38
因为Fe 是磁控材料，

你做的磁控溅射阴极，必须为强磁场结构的，才能溅射出来。 功率加的多一点，少一点，不是主要的影响，是否能溅射出。最主要是你的磁控溅射阴极磁场设计。
你可以问一下，你的溅射阴极厂家， 一般纯铁靶材，厚度在1.5mm 左右，铁合金，好看你的磁场有多少少，厚度可以增加一些。

溅射阴极， 一般是功率/靶材的面积= 靶的功率密度。
赞一下 回复此楼
5楼2014-07-30 17:18:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

甲子湖

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
极地寒光: 金币+1, ★有帮助 2014-07-30 19:36:15
你铁做的多厚，一般100w多就可以
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-29 17:28:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

极地寒光

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 甲子湖 at 2014-07-29 17:28:21
你铁做的多厚，一般100w多就可以

你好，我的铁耙是3mm，我想问下功率怎么算，是不是溅射电压乘于溅射电流
谢谢了
赞一下 回复此楼
做最好的自己
3楼2014-07-30 11:17:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

坏老老头

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电压估计是加不上去的了吧

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-30 16:23:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 12/600 2026-10-13 20:40 by Merryya
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +9 Isak0320 2026-10-12 13/650 2026-10-13 11:57 by Isak0320
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭