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极地寒光

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围 已有3人参与

各位虫友,我目前做的是Fe-si-Al吸波材料,采用的是磁控溅射的方法,但是问现在这方面的讲述比较少,我采用的是Fe靶和Si-Al靶,想问一下Fe靶和Si-Al靶的溅射电压和电流是多少?我目前在Fe靶和Si-Al靶上施加的电压最多不超过400V,这时候的电流已经很大了,为2A左右,想继续增大电压机器就会响,所以400V以下的电压能够溅射出来东西吗?请各位大神帮助,急用,不甚感激!
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做最好的自己
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
极地寒光: 金币+1 2014-07-30 19:36:38
因为Fe 是磁控材料,

你做的磁控溅射阴极,必须为强磁场结构的,才能溅射出来。 功率加的多一点,少一点,不是主要的影响,是否能溅射出。最主要是你的磁控溅射阴极磁场设计。
你可以问一下,你的溅射阴极厂家, 一般纯铁靶材,厚度在1.5mm 左右,铁合金,好看你的磁场有多少少,厚度可以增加一些。

溅射阴极, 一般是功率/靶材的面积= 靶的功率密度。
5楼2014-07-30 17:18:34
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甲子湖

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
极地寒光: 金币+1, 有帮助 2014-07-30 19:36:15
你铁做的多厚,一般100w多就可以
2楼2014-07-29 17:28:21
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极地寒光

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 甲子湖 at 2014-07-29 17:28:21
你铁做的多厚,一般100w多就可以

你好,我的铁耙是3mm,我想问下功率怎么算,是不是溅射电压乘于溅射电流
谢谢了
做最好的自己
3楼2014-07-30 11:17:47
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坏老老头

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
电压估计是加不上去的了吧

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-07-30 16:23:22
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