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liaofang20银虫 (小有名气)
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纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事 已有2人参与
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| 我直流磁控溅射纯铝,但是电流可以增大,电压一直在200V左右,以前的电压会在400V以上的。溅射的辉光是红色的,靶表面有氧化物,但是靶表面有氧化物不是电流升不高,电压比较高的嘛,很纳闷,不知道如何解释。哪位高手能解答? |
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