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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事
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916941518

银虫 (小有名气)
可能是你所套的靶材套距离靶材较近，之间的电阻较小，不能累计电压，之间距离可以适当增大一些
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11楼2014-06-28 09:30:48
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 916941518 at 2014-06-28 09:30:48
可能是你所套的靶材套距离靶材较近，之间的电阻较小，不能累计电压，之间距离可以适当增大一些

靶材套是绝缘的，有影响吗？因为靶套与靶本来也是接触的。
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12楼2014-06-30 11:23:37
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